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  • 1400℃三溫區(qū)管式爐
    1400℃三溫區(qū)管式爐

    更新時(shí)間:2021-03-06

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    1400℃三溫區(qū)管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;高真空級法蘭密封,結(jié)合我司標(biāo)準(zhǔn)真空、混氣系統(tǒng),可抽真空通氣氛;以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用智能化控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;爐腔采用日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)1600型氧化鋁多晶體纖維無機(jī)材料拼搭結(jié)構(gòu),長期使用不斷裂、垮塌;爐體為雙層爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫度;內(nèi)置三個溫區(qū),可營造不同的溫度梯度。
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  • 1700℃精密真空氣氛管式爐
    1700℃精密真空氣氛管式爐

    更新時(shí)間:2020-11-20

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    1700℃精密真空氣氛管式爐采用觸摸屏控制系統(tǒng),一鍵智能化操作,圖文界面操作更便捷;高真空級法蘭密封,結(jié)合我司標(biāo)準(zhǔn)真空、混氣系統(tǒng),可抽真空通氣氛。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
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  • 1200開啟式管式爐
    1200開啟式管式爐

    更新時(shí)間:2020-11-20

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    開啟式管式爐 在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場,使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜,副產(chǎn)物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)。
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